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| 股票代码 | 股票名称 | 收盘价 | 涨跌幅 | 开盘涨幅 | 最低价涨幅 | 换手率 | 流通市值 | 实控比例 | 买一价 | 买一量 | 买一额 | 最近日期 | 历史次数 | 解读 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
000969 |
安泰科技 | 16.41 | 9.99% | 9.99% | 5.09% | 10.79% | 169.55亿 | 35.99% | 16.41 | 95546 | 1.57亿 | 20200526 | 1 | 公司互动平台上表示公司一种钨合金产品用于国外某型号光刻机设备中 |
| 601727 |
上海电气 | 10.46 | 0.77% | 8.0% | -0.96% | 9.6% | 1319.6亿 | 41.08% | 10.46 | 2842 | 0.03亿 | 20210108 | 1 | 公司将推进旗下三家企业混改，继续承担好光刻机等技术攻关任务 |
| 301021 |
英诺激光 | 39.93 | 0.76% | 2.02% | -1.92% | 5.0% | 60.71亿 | 56.53% | 39.93 | 145 | 0.01亿 | 20250310 | 2 | 公司半导体植球机满足基板级、晶圆级、芯片级三种植球工艺，半导体印刷设备可应用于先进封装的存储器、LCD驱动器、射频器件、逻辑器件等领域 |
| 300905 |
宝丽迪 | 39.85 | 0.56% | 2.02% | -2.4% | 9.52% | 55.41亿 | 45.35% | 39.84 | 98 | 0.0亿 | 20240906 | 1 | 1、公司已经成功研发红色纳米色浆，可应用于光刻胶领域，且已达到客户使用需求，并已送样客户，未来公司将持续加大研发并跟进关注该领域； 2、cofs材料应用于固态电池，根据公司了解市场上有相关机构及公司在做研发，公司的主要研发为cofs材料生产合成，目前公司正在多个领域及客户进行产品验证 |
| 002549 |
凯美特气 | 24.84 | 10.01% | 0.53% | -0.58% | 18.32% | 171.98亿 | 43.54% | 24.84 | 141626 | 3.52亿 | 20250923 | 20 | 子公司凯美特电子特种气体公司光刻气产品获ASML子公司Cymer公司合格供应商认证函 |
| 002455 |
百川股份 | 7.3 | -0.14% | 0.41% | -1.5% | 5.17% | 37.9亿 | 6.35% | 7.3 | 697 | 0.01亿 | 20240223 | 2 | 公司PMA产能为5万吨/年 |
| 688550 |
瑞联新材 | 49.95 | 0.18% | 0.28% | -1.08% | 2.4% | 86.7亿 | 38.84% | 49.95 | 117 | 0.01亿 | 20210910 | 1 | 公司一部分光刻胶产品处于送样测试阶段 |
| 300032 |
金龙机电 | 5.06 | -0.78% | 0.2% | -1.57% | 4.62% | 40.64亿 | 16.49% | 5.06 | 67 | 0.0亿 | 20200702 | 3 | 此前已澄清未生产半导体产业用的光刻胶产品，也不涉及光刻胶业务 |
| 002338 |
奥普光电 | 58.14 | 3.82% | 0.04% | -2.04% | 5.93% | 139.54亿 | 42.4% | 58.14 | 110 | 0.01亿 | 20250917 | 18 | 光栅尺是半导体设备的核心部件之一，可用于半导体加工领域多种设备 |
| 603125 |
常青科技 | 17.67 | 3.45% | 0.0% | -0.47% | 10.36% | 17.88亿 | 5.0% | 17.67 | 16 | 0.0亿 | 20250327 | 2 | 公司募投规划产品之一2-乙烯基萘可用于生产高端光刻胶，该募投项目前置审批手续均以完成，现正稳步建设当中 |
| 300131 |
英唐智控 | 10.78 | -4.6% | 0.0% | -5.49% | 6.15% | 112.36亿 | 5.0% | 10.78 | 1549 | 0.02亿 | 20241008 | 3 | 公司全资子公司日本英唐微拥有5台光刻机，主要用于其光电转换和图像处理的模拟IC和数字IC产品的研发生产 |
| 301036 |
双乐股份 | 33.6 | 0.66% | 0.0% | -0.33% | 1.95% | 23.67亿 | 33.95% | 33.58 | 8 | 0.0亿 | 20241008 | 6 | 公司向飞凯材料供应的产品为光引发剂和光刻胶专用光敏剂 |
| 300637 |
扬帆新材 | 13.64 | 3.81% | 0.0% | -0.46% | 5.78% | 31.99亿 | 37.94% | 13.63 | 186 | 0.0亿 | 20231116 | 5 | 公司是全球光引发剂主要生产商之一，公司研发的部分光引发剂产品下游可应用于光刻胶领域 |
| 002165 |
红 宝 丽 | 8.7 | 0.23% | 0.0% | -1.15% | 3.92% | 63.3亿 | 20.1% | 8.7 | 2350 | 0.02亿 | 20230912 | 1 | 1、公司一异丙醇胺可用于电子化学品之光刻胶清洗剂，也是近年来公司在国内市场重点拓展的应用领域之一，目前保持快速增长态势； 2、公司泰兴环氧丙烷产业基地具备12万吨环氧丙烷产能； 3、国内最大的硬泡组合聚醚生产企业，用于建筑保温节能 |
| 300721 |
怡达股份 | 14.03 | 0.14% | 0.0% | -0.71% | 2.42% | 19.41亿 | 32.06% | 14.0 | 49 | 0.0亿 | 20200709 | 6 | 公司将开发成膜助剂用以替代光刻胶中的致癌性物质苯乙烯，以减小硬度、脆性及褪膜颗粒，提高光刻胶分辨率 |
| 603110 |
东方材料 | 18.89 | 3.56% | 0.0% | -0.22% | 11.18% | 38.01亿 | 21.33% | 18.89 | 32 | 0.0亿 | 20190801 | 1 | 公司主营油墨和胶粘剂，产品包括复合聚氨酯胶粘剂和PCB电子油墨等；此前否认PCB光刻胶事项 |
| 001358 |
兴欣新材 | 31.48 | -1.78% | -0.03% | -2.68% | 2.43% | 16.05亿 | 21.99% | 31.32 | 12 | 0.0亿 | 20240529 | 1 | 公司占据了全球哌嗪衍生物市场的主要份额，产品N-羟乙基哌嗪、N,N-二甲基丙酰胺可作为LCD和OLED面板光刻胶剥离液的重点组成部分 |
| 300200 |
高盟新材 | 10.67 | 1.91% | -0.1% | -1.81% | 4.46% | 45.16亿 | 33.55% | 10.66 | 278 | 0.0亿 | 20200914 | 2 | 公司参股公司科华微电子是国内光刻胶龙头 |
| 300293 |
蓝英装备 | 25.83 | 3.2% | -0.12% | -2.72% | 9.81% | 72.41亿 | 39.03% | 25.83 | 32 | 0.0亿 | 20241008 | 26 | 1、公司瑞士子公司UCM AG主要为光学和精密仪器行业提供清洗设备，UCM AG为ASML及其供应商提供极紫外光刻机（EUV）的光学系统相关关键部件的清洗设备； 2、公司在物料搬运（输送、移栽、分拣、堆码垛、立体化仓库等）中广泛采用机器人技术和自动化技术、自主开发立体库控制和管理软件以及物流自动化系统管理软件，有移动机器人、SCARA机器人等机器人产品 |
| 002158 |
汉钟精机 | 25.61 | -5.6% | -0.15% | -6.04% | 3.81% | 136.65亿 | 61.46% | 25.61 | 457 | 0.01亿 | 20210527 | 1 | 公司真空泵可用于极紫外光刻，且一直在积极推进中在该行业的使用 |
| 002889 |
东方嘉盛 | 15.49 | -0.64% | -0.19% | -0.9% | 0.98% | 38.92亿 | 56.99% | 15.49 | 8 | 0.0亿 | 20241008 | 13 | 1、国内领先的一体化供应链服务商； 2、公司向深圳海关申请设立寄售维修保税仓库已获批通过，七月初公司已经中标，将与国际头部芯片光刻机厂商合作，共同在深圳建设寄售维修保税仓库，为华南片区集成电路制造企业提供全天候快速响应的光刻机寄售维修服务 |
| 603120 |
肯特催化 | 41.05 | -0.15% | -0.27% | -0.73% | 3.87% | 9.09亿 | 5.0% | 41.03 | 3 | 0.0亿 | 20250620 | 1 | 公司刻蚀液产品已实现批量生产 |
| 002819 |
东方中科 | 29.4 | -2.13% | -0.27% | -2.2% | 2.09% | 69.11亿 | 48.34% | 29.4 | 57 | 0.0亿 | 20210607 | 1 | 客户包括科益虹源，后者近期获华为哈珀入股 |
| 300522 |
世名科技 | 13.49 | 0.0% | -0.3% | -0.74% | 2.21% | 35.49亿 | 42.46% | 13.49 | 231 | 0.0亿 | 20200710 | 2 | 子公司常熟世名化工科技有限公司技改项目中涉及的光刻胶颜料分散液（光刻胶色浆）主要用于显示器彩色滤光片用光刻胶，是在彩色滤光片中呈现色彩特征的物质 |
| 603306 |
华懋科技 | 51.56 | -1.51% | -0.32% | -3.15% | 4.58% | 169.88亿 | 24.73% | 51.56 | 9 | 0.0亿 | 20241021 | 5 | 国内光刻胶产业链龙头之一，目前已批量供应国内头部晶圆厂 |
| 688602 |
康鹏科技 | 8.54 | -3.06% | -0.34% | -3.29% | 4.11% | 22.17亿 | 26.78% | 8.54 | 169 | 0.0亿 | 20250417 | 1 | 参股公司上海觅拓材料主要生产光敏剂（光刻胶的原料） |
| 600202 |
哈空调 | 5.95 | 2.59% | -0.34% | -1.38% | 2.16% | 22.81亿 | 34.03% | 5.94 | 9 | 0.0亿 | 20250401 | 3 | 国内最大电站空冷器，市场称哈工大此前自研光刻机 |
| 002643 |
万润股份 | 13.28 | -1.04% | -0.37% | -1.71% | 2.94% | 120.75亿 | 37.86% | 13.28 | 116 | 0.0亿 | 20241203 | 2 | 公司在半导体制造领域的相关产品主要包括光刻胶单体与光刻胶树脂，互动平台披露，目前公司已完成了部分光致产酸剂产品的开发，该产品用于半导体光刻胶领域，正在积极开展下游市场推广工作 |
| 603928 |
兴业股份 | 15.89 | 1.73% | -0.38% | -0.64% | 2.87% | 41.64亿 | 68.97% | 15.88 | 97 | 0.0亿 | 20250620 | 5 | 1、公司已研发成功半导体光刻胶用酚醛树脂、特种半导体封装用酚醛树脂等一批特种有机合成功能新材料； 2、公司获得授权的发明专利包括一种3D砂型打印呋喃树脂用固化剂及其制备方法、3D砂型打印用碱酚醛树脂的制备方法、一种3D打印用呋喃树脂的制备方法 |
| 002453 |
华软科技 | 7.24 | 0.56% | -0.42% | -4.31% | 20.2% | 44.36亿 | 23.77% | 7.24 | 286 | 0.0亿 | 20250925 | 13 | 公司光刻胶基材产品业务目前正处于客户接洽阶段，已有少量试订单 |
| 603607 |
京华激光 | 24.08 | 0.71% | -0.42% | -0.42% | 2.18% | 42.99亿 | 49.47% | 24.08 | 35 | 0.0亿 | 20241008 | 9 | 公司在光刻机领域的布局主要集中在光学制版用光刻机的深度研发 |
| 002584 |
西陇科学 | 9.1 | 1.11% | -0.44% | -1.44% | 12.1% | 42.63亿 | 16.47% | 9.1 | 1009 | 0.01亿 | 20250919 | 9 | 公司拥有光刻胶配套试剂产品，和英特尔产品（成都）有限公司，美维控股，兴森电子，信利半导体，超声电子、韩国东进世美肯公司等建立业务合作关系 |
| 603078 |
江化微 | 20.75 | -1.71% | -0.47% | -3.79% | 5.08% | 80.02亿 | 40.59% | 20.75 | 433 | 0.01亿 | 20250327 | 8 | 国内湿电子化学品行业的领先企业之一；公司生产的光刻胶配套试剂主要用于下游半导体和平板显示领域 |
| 300537 |
广信材料 | 27.01 | 4.73% | -0.47% | -3.3% | 16.91% | 38.87亿 | 5.0% | 27.01 | 182 | 0.0亿 | 20230911 | 10 | 1、公司光伏封装胶主要用于0BB点胶、UV串胶焊带粘接及电池片保护等作用，可适用于XBC、HJT、钙钛矿叠层等工艺光伏电池组件； 2、公司立足原有PCB油墨、UV固化涂料扩展到FPD光刻胶、IC光刻胶及配套等多种光固化领域电子材料，光刻胶板块从PCB光刻胶拓展到FPD光刻胶、IC光刻胶及配套材料等微电子材料领域 |
| 605588 |
冠石科技 | 59.67 | 1.48% | -0.49% | -2.86% | 6.69% | 43.62亿 | 67.23% | 59.67 | 130 | 0.01亿 | 20230928 | 4 | 公司募集资金投资项目为“光掩膜版制造项目”，主要产品为半导体光掩膜版，主要应用于IC领域。项目建成以后，将具备年产12,450片半导体光掩膜版的生产能力，产品制程覆盖350-28nm |
| 300521 |
爱司凯 | 29.12 | -3.86% | -0.53% | -4.99% | 3.9% | 43.44亿 | 25.59% | 29.1 | 10 | 0.0亿 | 20200717 | 8 | 公司招聘光刻工艺工程师负责MENS产线中的光刻设备生产；公司的光刻机技术目前仅应用在公司MEMS项目中 |
| 001268 |
联合精密 | 31.4 | -0.19% | -0.54% | -0.54% | 2.95% | 19.76亿 | 20.51% | 31.39 | 20 | 0.0亿 | 20230915 | 5 | 公司业务包括光刻机零部件铸件项目 |
| 002426 |
胜利精密 | 3.47 | -4.14% | -0.55% | -4.42% | 5.18% | 118.07亿 | 14.05% | 3.47 | 1051 | 0.0亿 | 20230831 | 11 | 1、公司子公司安徽飞拓新材料科技有限公司拟56亿元投建新能源汽车功能膜项目；预计项目完成后，3A光学膜生产线总设计年产能85万平方米，复合铜箔生产线总设计年产能12亿平方米； 2、公司称光刻机零部件项目暂无实质性进展 |
| 300758 |
七彩化学 | 13.66 | 0.96% | -0.67% | -0.81% | 2.01% | 50.04亿 | 46.61% | 13.66 | 59 | 0.0亿 | 20240208 | 1 | 公司600吨/年高性能光刻胶系列产品主要是用于生产光刻胶组成成分之一光敏剂的原料，产品主要应用于紫外正型光刻胶 |
| 300538 |
同益股份 | 15.93 | -0.06% | -0.69% | -1.0% | 3.98% | 19.27亿 | 18.18% | 15.93 | 6 | 0.0亿 | 20230905 | 7 | 公司先后引进韩国SMS丙烯酸树脂产品、韩国KISCO光引发剂产品及DKC光敏剂等产品，涵盖LCD-TFT正性光刻胶，芯片及半导体行业i/g/h线光刻胶，主要应用于中高端市场 |
| 603931 |
格林达 | 29.54 | -1.76% | -0.73% | -4.22% | 3.32% | 58.95亿 | 67.77% | 29.54 | 83 | 0.0亿 | 20250924 | 10 | 1、国内湿电子化学品主要生产厂商之一；公司产品主要有显影液、蚀刻液、稀释液、清洗液等，核心产品TMAH显影液系LCD、OLED显示面板生产过程中的关键材料之一； 2、TMA价格持续上涨，据网络截图显示，查询到公司也在生产和销售偏苯三酸酐 |
| 300429 |
强力新材 | 14.58 | 1.82% | -0.77% | -4.33% | 12.76% | 58.12亿 | 11.1% | 14.58 | 2379 | 0.03亿 | 20250620 | 10 | 公司是全球PCB光刻胶的主要材料供应商；旗下LCD光刻胶打破了巴斯夫等跨国公司对该类产品的垄断，填补了国内空白 |
| 002222 |
福晶科技 | 49.43 | 0.53% | -0.92% | -2.95% | 5.41% | 231.41亿 | 20.68% | 49.42 | 40 | 0.0亿 | 20250919 | 10 | 公司曾通过欧洲代理选ASML提供少量光学元件，控股61%的子公司福创光电开展衍射光学元件研究、生产，衍射光学元件是光刻机中一系列可动的镜片，主要用于产生光刻所需要的光源 |
| 688720 |
艾森股份 | 49.9 | -4.81% | -0.99% | -5.51% | 7.99% | 27.59亿 | 22.64% | 49.86 | 32 | 0.0亿 | 20241008 | 1 | 公司现有量产产品“先进封装负性光刻胶”、“电镀铜基液”、“铜钛蚀刻液”以及客户认证中的“电镀锡银添加剂”等产品可以用于存储芯片封装 |
| 002559 |
亚威股份 | 11.02 | -5.16% | -1.03% | -5.34% | 8.8% | 55.14亿 | 8.28% | 11.01 | 1883 | 0.02亿 | 20231116 | 1 | 1、公司从事的主要业务包括三大板块：金属成形机床业务、激光加工装备业务、智能制造解决方案业务； 2、公司参股苏州芯测收购的韩国GSI拥有存储芯片测试机业务并稳定供货海力士、安靠等行业龙头，同时参股苏州威迈芯材涉及光刻胶主材 |
| 300260 |
新莱应材 | 54.65 | 20.0% | -1.19% | -1.84% | 27.88% | 157.19亿 | 37.46% | 54.65 | 26329 | 1.44亿 | 20250327 | 3 | 公司有部分产品已经成功应用到洁净、清洗等领域，光刻机领域根据结构图纸是有机会可以使用到公司的真空系统产品，表示努力试图跟ASML接触 |
| 688502 |
茂莱光学 | 412.99 | -1.65% | -1.25% | -6.88% | 9.54% | 69.38亿 | 6.56% | 412.92 | 3 | 0.0亿 | 20241108 | 4 | 公司为精密光学综合解决方案提供商；公司主要产品覆盖深紫外DUV、可见光到远红外全谱段，主要包括精密光学器件、光学镜头和光学系统三大类 |
| 300655 |
晶瑞电材 | 15.25 | 1.67% | -1.33% | -2.13% | 9.35% | 154.17亿 | 16.56% | 15.25 | 1379 | 0.02亿 | 20241016 | 12 | i线光刻胶龙头，此前参股子公司湖北晶瑞拟引入大基金二期等战投，该公司自成立以来一直致力于布局电子级双氧水、电子级氨水等半导体及面板显示用电子材料等 |
| 300398 |
飞凯材料 | 25.28 | -2.69% | -1.35% | -4.93% | 7.78% | 142.54亿 | 27.47% | 25.28 | 230 | 0.01亿 | 20200709 | 6 | 公司光刻胶产品主要应用于LED和TFT-LCD、PCB制造、屏幕显示制造领域，并已布局应用于半导体制造领域以及OLED材料领域的光刻胶产品 |
| 000859 |
国风新材 | 6.4 | 0.0% | -1.41% | -2.19% | 2.42% | 57.34亿 | 29.12% | 6.4 | 1179 | 0.01亿 | 20250523 | 9 | 公司半导体封装用光敏聚酰亚胺（PSPI）光刻胶研发取得阶段性成果，目前已处于实验室送样检测阶段 |
| 688037 |
芯源微 | 148.52 | -1.05% | -1.48% | -3.81% | 3.44% | 299.46亿 | 28.48% | 148.52 | 5 | 0.0亿 | 20241008 | 1 | 公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机） |
| 300990 |
同飞股份 | 76.38 | -2.1% | -1.6% | -2.59% | 4.96% | 59.37亿 | 44.59% | 76.38 | 25 | 0.0亿 | 20240918 | 3 | 公司液体恒温设备可应用于光刻机 |
| 300576 |
容大感光 | 39.05 | -1.61% | -1.66% | -3.7% | 6.38% | 90.85亿 | 18.41% | 39.05 | 37 | 0.0亿 | 20230906 | 17 | 公司的干膜光刻胶、显示用光刻胶、半导体光刻胶等产品已经面向市场实现了批量销售，上半年净利润同比增长117.01% |
| 603297 |
永新光学 | 112.86 | 2.04% | -1.71% | -2.94% | 3.64% | 124.97亿 | 63.89% | 112.85 | 30 | 0.0亿 | 20250919 | 4 | 公司能提供光刻物镜 |
| 603650 |
彤程新材 | 44.32 | 1.53% | -1.72% | -1.92% | 3.85% | 264.72亿 | 67.94% | 44.32 | 568 | 0.03亿 | 20240206 | 19 | 此前多家晶圆厂加速验证导入公司子公司北京科华的KrF光刻胶 |
| 600619 |
海立股份 | 23.57 | 2.03% | -1.77% | -2.51% | 9.31% | 186.01亿 | 26.41% | 23.57 | 441 | 0.01亿 | 20250919 | 10 | 公司为上海微电子装备集团的封装光刻机提供冷却系统配套；上半年净利同比预增625.83%到756.71% |
| 688010 |
福光股份 | 29.68 | -4.47% | -1.8% | -5.66% | 3.67% | 47.65亿 | 51.05% | 29.68 | 108 | 0.0亿 | 20241108 | 1 | 公司向华为公司供应光学镜头，公司新建项目可以为高端装备（如光刻机）、国防、航空、航天等领域提供高精密的光学镜头和光学系统 |
| 300331 |
苏大维格 | 33.2 | -6.53% | -1.83% | -8.22% | 13.73% | 69.79亿 | 23.61% | 33.2 | 244 | 0.01亿 | 20241008 | 3 | 1、公司光刻设备主要为紫外光刻直写设备，主要用于柔性电子、MEMS以及半导体上游器件等产品的研发与制造；研发并布局了AR光子芯片技术； 2、公司研发的衍射光波导镜片和投影屏等衍射光学器件是AR/VR及AR-HUD的核心硬件，在AR/VR等智能眼镜，以及AR-HUD的支持下，用户能够实现语音+文字的信息获取，并配合SAM可进行任意图像切割，能够将眼前所见进行实时搜索及信息交互，是消费电子和智能汽车等产业界的重点拓展方向，AR/VR终端设备以及搭载AR-HUD的智能汽车也有望成为AI应用的核心受益终端 |
| 300236 |
上海新阳 | 59.34 | -2.93% | -1.85% | -4.25% | 4.88% | 165.4亿 | 25.86% | 59.34 | 28 | 0.0亿 | 20200319 | 1 | 公司为国内晶圆化学品+大硅片领先企业，大比例持股上海新昇，公司目前在推进 ArF 干式、KrF 厚膜光刻胶的研发 |
| 603005 |
晶方科技 | 31.73 | -5.06% | -2.15% | -5.36% | 8.3% | 206.93亿 | 15.77% | 31.73 | 1428 | 0.05亿 | 20230915 | 2 | ASML为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一；Anteryon为全球同时拥有混合镜头、晶圆级微型光学器件工艺技术设计、特性材料及量产能力 |
| 301013 |
利和兴 | 31.58 | 11.67% | -2.26% | -2.44% | 38.28% | 59.76亿 | 8.39% | 31.58 | 1094 | 0.03亿 | 20250918 | 2 | 公司为国内纳米压印龙头，新凯来为公司客户 |
| 300346 |
南大光电 | 41.7 | -3.43% | -2.73% | -5.09% | 10.3% | 273.78亿 | 12.32% | 41.69 | 106 | 0.0亿 | 20210722 | 9 | 国内电子气体龙头企业，也是国内唯一的全系列MO源供应商，LED必须材料；公司自主研发的ArF光刻胶产品近日在逻辑芯片制造企业55nm技术节点的产品上取得了认证突破 |
| 600895 |
张江高科 | 49.39 | -0.14% | -3.86% | -3.86% | 9.12% | 764.9亿 | 50.75% | 49.38 | 242 | 0.01亿 | 20250924 | 15 | 全资子公司张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子10.78%股份；上海微电子是国产光刻机龙头 |
| 301421 |
波长光电 | 118.0 | 5.45% | -4.82% | -5.54% | 38.57% | 54.64亿 | 5.0% | 118.0 | 46 | 0.01亿 | 20250923 | 4 | 公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力；成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序 |
| 600629 |
华建集团 | 29.74 | 5.09% | -9.96% | -9.96% | 11.35% | 283.46亿 | 52.48% | 29.74 | 525 | 0.02亿 | 20250926 | 2 | 公司控股股东为上海国有资本投资有限公司，旗下上海科技创业投资有限公司持有上海微电子装备（集团）股份有限公司13.275%股权 |